白光干涉，作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术，其纵向分辨率可达到亚纳米级别。

视场内信息采集与数据处理同时进行，大面积区域的高度信息采集时间短。

多用于科学研究与质量管理领域，典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量（如晶片结构、镜面、玻璃与金属）、台阶高度测定和曲面精度测量（如微型透镜）。

SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术，自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。

其核心算法基于GBS长期研发与测量经验，具备高效、稳定、精度高等特点。

技术优势：

-非接触

-纳米级精度

-测量时间短

-性能可靠

结构：

LED光源（软件控制）

压电马达，用于垂直方向物镜移动，范围400μm

控制盒

CCD摄像头（1624 x 1234 像素）GigE接口

PC机或笔记本电脑 Win7系统，NVIDIA GPU 用于超快数据处理，液晶显示器，键盘，鼠标

GBS公司开发SmartWLI软件，用于形貌测量及通过直接接口输出三维数据进入MountainsMap图片形貌图片处理软件，包括文件编制MountainsMap图片形貌软件，用于图片处理，数据分析与生成报告。

技术参数：

应用领域：

-表面形貌和粗糙度测定

-2D显微镜升级为3D显微镜

-曲面精度测量

配件：

为实现样品表面三维形貌的高精度（纳米级）测量要求，轮廓仪需配合防震台使用。GBS公司推荐ACCURION I4主动式（充气）防震台来降低测量过程中的震动噪声影响。

MountainsMAP^®表面分析软件与三维可视化测量报告

作为一款高品质的表面成像与分析软件，MountainsMAP^®适合实验室、研究机构及工厂各类机能表面的设计、测试或制造设备使用。

MountainsMAP^®拥有一整套全面的解决方案，专用于表面外观及形貌的成像与分析，提供详尽的三维可视化测量报告。

应用案例：

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（一）- 液态轴承

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（二）- 晶片

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（三）- 钻石工具

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（四）- 透镜工具

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（五）- 金属表面

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（六）- 汽车车身表面

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（七）- 粗糙度标准片

SmartWLI白光干涉技术三维表面形貌测量结果（八）- 发动机汽缸